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Fabrication of 3D structure by combining AFM and chemical etching on crystalline silicon surface
  • ISSN号：1001-7011
  • 期刊名称：《黑龙江大学自然科学学报》
  • 时间：0
  • 分类：O643[理学—物理化学;理学—化学]
  • 作者机构：[1]Precision Engineering Research Institute, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China, [2]School of Chemistry and Material Science, Heilongjiang University, Harbin 150080, China
  • 相关基金：Sponsored by thc Natural Science Foundation of China （Grant No. 20271019）, the Natural Science Foundation of Heilongjiang Province （Grant No. B200504） and the Education Department Foundation of Heilongjiang Province （Grant No. 11511270）.
作者： 袁福龙[1], 郭永峰[2], 梁迎春[1], 李丽[2], 朱宇君[2], 王岩[2]
关键词： 晶体, 硅, 微晶结构, 化学动力学, 化学结构, atomic fore microscope （AFM）, micro machining, alkaline solution, crystalline silicon, anisotropy , etching
中文摘要：

袁福龙,E-mail：yflhlj@163．com

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期刊信息
  • 《黑龙江大学自然科学学报》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:黑龙江省教育厅
  • 主办单位:黑龙江大学
  • 主编：霍丽华
  • 地址：哈尔滨市学府路74号
  • 邮编：150080
  • 邮箱：hdxb@vip.sohu.com
  • 电话：0451-86608818
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-7011
  • 国内统一刊号：ISSN：23-1181/N
  • 邮发代号:14-114
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,美国数学评论（网络版）,德国数学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:4204