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MEMS多层压印工艺中的视频图像对
  • 期刊名称：光电工程， 32（10）：84～88，2005.10, （EI：05469478276）
  • 时间：0
  • 相关项目：基于微压印成形的真三维MEMS器件一体化制造方法探索
作者： 王权岱，段玉岗*，卢秉恒，丁玉
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基于微压印成形的真三维MEMS器件一体化制造方法探索
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