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纳米压印光刻中模板与基片的平行
  • 期刊名称：微细加工技术，（2）：34～38, 2005.06（EI：05339305426）
  • 时间：0
  • 相关项目：基于微压印成形的真三维MEMS器件一体化制造方法探索
作者： 张亚军，段玉岗*，卢秉恒，王权
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