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Implementation of Autofocus in Alignment System for Layered Imprint Fabrication
  • ISSN号：1006-4982
  • 期刊名称：《天津大学学报：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：TP391.41[自动化与计算机技术—计算机应用技术;自动化与计算机技术—计算机科学与技术] TB852.1[一般工业技术—摄影技术]
  • 作者机构：[1]State Key Lab for Manufacturing Systems Engineering, Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049, China, [2]School of Mechanical and Electrical Engineering, Guilin University of Electronic Technology, Guilin 541004, China
  • 相关基金：Supported by National Natural Science Foundation of China （No.50305026） and Open Foundation of Guangxi Key Lab for Manufacturing Systems and Advanced Manufacturing Technology （No.07109008-025-K）.
作者： 王权岱[1], 段玉岗[1], 卢秉恒[1], 向家伟[2], 杨连发[2]
关键词： 自动对焦功能, 制造过程, 对准系统, 版本, 镜头, 图像内容, 计算效率, 信息分析, autofocus algorithm, alignment, imprint lithography, layered fabrication
中文摘要：

WANG Quandai, born in 1969, male, Dr, lecturer.Correspondence to WANG Quandai, E-mail： quandaiw@163.com.

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期刊信息
  • 《天津大学学报：英文版》
  • 主管单位:中华人民共和国教育部
  • 主办单位:天津大学
  • 主编：龚克
  • 地址：天津市南开区卫津路92号天津大学第19教学桉东配楼
  • 邮编：300072
  • 邮箱：trans@tju.edu.cn
  • 电话：022-27400281
  • 国际标准刊号：ISSN：1006-4982
  • 国内统一刊号：ISSN：12-1248/T
  • 邮发代号:6-128
  • 获奖情况:
  • 天津市一级期刊,被国内外十余家检索机构收录
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,英国英国皇家化学学会文摘
  • 被引量:153