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铅基（Pb,La）（Zr,Ti）O3反铁电厚膜微驱动结构的特性测试
  • ISSN号：1001-9731
  • 期刊名称：《功能材料》
  • 时间：0
  • 分类：TN384[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]中北大学电子测试技术国防重点实验室,太原030051, [2]中北大学计算机与控制工程学院,太原030051, [3]中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目（61401406,51175483,51422510）;中国教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目（NCET）
作者： 安坤[1,2], 陈东红[1], 何剑[3], 丑修建[1], 薛晨阳[3], 张文栋[3]
关键词： 反铁电厚膜, 微悬臂梁, 微驱动构件
中文摘要：

采用金属醇盐为前驱体的溶胶G凝胶工艺,实现了PLZT反铁电厚膜晶圆级的制备.基于铅锆反铁电材料的相变应变效应和快速响应特性,结合微纳兼容制造关键技术,研制出具有大应变、快响应、低驱动特性的硅基（Pb,La）（Zr,Ti）O3反铁电厚膜微悬臂梁构件.3种激励模式的测试结果表明,定频模式下梁的最大位移和速率相对于扫频模式下高出数倍,且定频模式（Square）更有利于激发反铁电材料相变,使得微悬臂梁驱动构件产生更大的应变和更快的响应速度,为大行程驱动位移和快速响应新型微执行构件的设计提供一种新的技术途径.

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期刊信息
  • 《功能材料》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:重庆材料研究院
  • 主办单位:重庆材料研究院
  • 主编：黄伯云
  • 地址：重庆北碚区蔡家工业园嘉德大道8号
  • 邮编：400707
  • 邮箱：gnclwb@126.com
  • 电话：023-68264739
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-9731
  • 国内统一刊号：ISSN：50-1099/TH
  • 邮发代号:78-6
  • 获奖情况:
  • 2008、2011年连续获中国精品科技期刊,2010获重庆市双十佳期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:30166