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单悬臂梁阵列式压电能量采集器的研究
  • ISSN号：1001-9731
  • 期刊名称：《功能材料》
  • 时间：0
  • 分类：TN384[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]中北大学仪器与电子学院、仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目（51422510,51275492）;国家自然科学基金杰出青年基金资助项目（51225504）;国家高技术研究发展计划（863计划）资助项目（SQ2015AAJY1634）
作者： 贺婷[1], 丑修建[1], 王二伟[1], 甄国涌[1], 张文栋[1]
关键词： 振动能量采集, 压电效应, MEMS, ANSYS, PZT薄膜
中文摘要：

根据当前物联网以及无线传感网络的需求,以MEMS技术为依托,结合压电效应,提出了一种单悬臂梁阵列式压电式能量采集器.在分析压电能量采集器结构力学特性的基础上,详细介绍了两种不同尺寸微结构的设计、加工和测试.采用ANSYS软件仿真,得出两种微结构的谐振频率分别为3.9和4kHz;利用溶胶G凝胶法制备出15和20层的PZT 压电功能薄膜,电镜扫描其厚度分别为1849,2667nm,AFM对比表面形貌其粗糙度分别为1.8和2.11nm,后者致密更好,颗粒较小,相变温度相对比较高.

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期刊信息
  • 《功能材料》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:重庆材料研究院
  • 主办单位:重庆材料研究院
  • 主编：黄伯云
  • 地址：重庆北碚区蔡家工业园嘉德大道8号
  • 邮编：400707
  • 邮箱：gnclwb@126.com
  • 电话：023-68264739
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-9731
  • 国内统一刊号：ISSN：50-1099/TH
  • 邮发代号:78-6
  • 获奖情况:
  • 2008、2011年连续获中国精品科技期刊,2010获重庆市双十佳期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:30166