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Pb过量和种子层对PLZT薄膜的影响
  • ISSN号：1004-2474
  • 期刊名称：《压电与声光》
  • 时间：0
  • 分类：TN384[电子电信—物理电子学] TB34[一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构：[1]中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051, [2]中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原030051
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目（51422510,51175483,61401460）
作者： 刘立[1], 何剑[1], 张鹏[2], 王二伟[1], 胡磊[1], 丑修建[1]
关键词： 溶胶-凝胶(Sol-Gel)法, 钙钛矿结构, 锆钛酸铅镧(PLZT)薄膜, 缓冲层.
中文摘要：

采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）法在Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上制备不同Pb过量（未过量、10%、15%）和引入不同厚度（0、100nm、500nm）锆钛酸铅（PZT）缓冲层的锆钛酸铅镧（PLZT）反铁电薄膜,通过原子力显微镜、X线衍射表征分析薄膜的微观结构。结果表明,过量10%的Pb组分有助于形成钙钛矿结构,获得较大的晶粒尺寸和理想的粗糙度;100nm的PZT缓冲层的引入有利于PLZT薄膜晶化,形成较致密、结晶状况良好的薄膜。

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期刊信息
  • 《压电与声光》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电科第二十六研究所
  • 主编：胡少勤
  • 地址：重庆南坪花园路14号26所
  • 邮编：400060
  • 邮箱：ydsgsipat@163.com
  • 电话：023-62919570
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-2474
  • 国内统一刊号：ISSN：50-1091/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1984年获电子部优秀科技期刊三等奖,1990年获电子行业优秀科技期刊三等奖,1990年获首届机电部优秀科技期刊二等奖,1990年获首届四川省优秀科技期刊二等奖,1991年获首届国防科技工委优秀科技期刊二等奖,1992年获第二届机电部优秀科技期刊三等奖,1992年获第二届四川省优秀科技期刊二等奖,1993年获第一届全国优秀科技期刊三等奖,1995年获首届四川省宣传部、省新闻出版局、省期刊...,1995年获四川省第三届优秀科技期刊二等奖,1995-1996年获信息产业部电子优秀科
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,波兰哥白尼索引,荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
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