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智能微纳器件与系统
  • 项目名称：智能微纳器件与系统
  • 项目类别：优秀青年科学基金项目
  • 批准号：51422510
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：丑修建
  • 依托单位：中北大学
  • 批准年度：2014
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 10
  • 0
  • 0
  • 0
  • 0
期刊论文
基于八悬臂梁-中心质量块结构MEMS压电振动能量采集器
Pb过量和种子层对PLZT薄膜的影响
铅基（Pb,La）（Zr,Ti）O3反铁电厚膜微驱动结构的特性测试
低频响应MEMS压电式微型振动发电机
发展中的RF MEMS开关技术
基于PCB的三频高回波损耗印制单极子天线
大量程纳米位移传感器的微纳加工制造
复合式微型能量采集器结构设计及关键技术
单悬臂梁阵列式压电能量采集器的研究
AZ4620光刻胶掩膜的氮化硅图形化工艺
丑修建的项目
基于MEMS技术的反铁电厚膜微悬臂梁场致应变效应研究
期刊论文 13 会议论文 4 专利 2
压电-电磁协同换能振动能量高效采集硅基微能源器件基础研究
期刊论文 1
基于反铁电材料外场诱导相变效应的智能传感与执行机构基础研究
期刊论文 19 专利 2