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Preparation of AIN films by pulsed laser deposition using sintered aluminum nitride and elemental al
  • 期刊名称:J. Vac.Sci.Technol.A
  • 时间:0
  • 作者或编辑:3448
  • 第一作者所属机构:复旦大学
  • 页码:2001,19(1),299-305
  • 语言:英文
  • 相关项目:纳米GaN嵌镶薄膜的光发射和光学非线性
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