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用脉冲激光沉积方法制备氮化铝薄膜
  • 期刊名称:中国激光
  • 时间:0
  • 作者或编辑:3448
  • 第一作者所属机构:复旦大学
  • 页码:2001,28(3),272-274
  • 语言:中文
  • 相关项目:纳米GaN嵌镶薄膜的光发射和光学非线性
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