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A silicon integrated micro positioning xy-stage for nano-manipulation
  • 期刊名称：食品科技
  • 时间：0
  • 页码：162-166
  • 语言：中文
  • 相关项目：微系统装配与集成
作者： 孙立宁|李欣昕|王家畴|荣伟彬|
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微系统装配与集成
期刊论文 25 会议论文 19 专利 4
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