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气源分子束外延生长的InAs/InP(100)量子点激光器
  • ISSN号:1003-353X
  • 期刊名称:《半导体技术》
  • 时间:0
  • 分类:TN248.4[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050
  • 相关基金:基金项目:国家自然科学基金资助项目(60721004,60976015)
中文摘要:

利用气源分子束外延(GSMBE)技术,在InP(100)衬底上生长InAs量子点激光器。有源区包含5层InAs量子点,每层量子点的平均尺寸是2.9 nm和76 nm,面密度在1010cm-2左右,势垒层为InGaAsP。室温下量子点的光致发光中心波长在1.55μm,发光峰半高宽为108 meV。通过化学湿法腐蚀制备双沟道8μm宽脊条激光器,在20℃连续波工作模式下,腔长为0.7 mm的激光器的阈值电流为143 mA(2.5 kA/cm2),器件的激射中心波长在1.55μm。由于量子点尺寸的非均匀性,在大电流注入,激光器的激射谱展宽。器件单端面最大输出功率为27 mW,功率斜率效率为130 mW/A。

英文摘要:

InAs quantum dot lasers grown by gas-source molecular beam epitaxy (GSMBE) was described. The active region consists of five-stacked dot layers, while each dot layer is formed by 3.0 ML InAs layer, resulting in dot density of 10^10 cm-2, mean dot height of 2.9 nm, and mean base diameter of 76 nm. The center peaks of room temperature photoluminenscence (PL) of InAs QDs is 1.55μm with linewidth of 108 meV. Ridge waveguide QD laser with stripe width of 8 μm was processed. At 20 ℃, the quantum dot laser with stripe length of 0.7 mm lasing at 1.55 μm under continuous wave operation mode and the maximum output power is 27 mW with slope efficiency of 130 mW/A. With increasing injection current, the lasing spectra is just broaden due to the broad size distribution of the QD assembly.

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期刊信息
  • 《半导体技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 主编:赵小玲
  • 地址:石家庄179信箱46分箱
  • 邮编:050051
  • 邮箱:informax@heinfo.net
  • 电话:0311-87091339
  • 国际标准刊号:ISSN:1003-353X
  • 国内统一刊号:ISSN:13-1109/TN
  • 邮发代号:18-65
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,中国科技论文统计用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:6070