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湿法腐蚀制备GaN LED蓝宝石图形衬底的工艺方法研究
  • ISSN号:1000-7180
  • 期刊名称:《微电子学与计算机》
  • 时间:0
  • 分类:TN43[电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 作者机构:[1]中国电子科技集团公司第五十八研究所,江苏无锡214035, [2]桂林电子科技大学信息与通信学院,广西桂林541004
  • 相关基金:国家自然科学基金(No.61274077);江苏省自然科学基金(No.BK2011173,No.BK20120094)
中文摘要:

本文提出可集成自提取结终端的0.35μm150V—BCD(双极一互补金属氧化物半导体一双重扩散金属氧化物半导体)全套新型高压工艺.利用此工艺研制出100V场致发光用高低侧驱动芯片,并提出了基于双极器件BC(双极集电极)结短路自提取结终端新工艺与新结构,既可满足场致发光高压驱动芯片应用,又能取代传统采用氧化扩散工艺的P-ISO(P型隔离结构)传统隔离结构,显著简化了工艺和提高了芯片的高集成度,确保片内集成的低电阻率VDN—MOS/LDPMOS(N型垂直双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管/P型横向扩散金属氧化物半导体场效应晶体管)高压驱动模块与低压逻辑控制模块在100V高压脉冲交替工作状况下无负电位、EMMI(微光显微镜)等寄生现象出现.

英文摘要:

A high voltage BCI)(Bipolar-CMOS-DMOS)technology by using self-extracted JTE(Junction Termination Exten- sion)lxench isolation based on 0.35gin standard CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)process has been developed for LCD( Liquid Crystal Display) backlight application. In this technology, HV ( High Voltage) circuit block, including low cost VDN- MOS( Vertical Double Diffused N-MOS ) and LDPMOS ( Laterally Diffused P-MOS ) with resurf principle, and LV ( Low Voltage) block are integrated together. Advanced deep trench isolation technology which has higher integration than conventional P-type isola- tion is firstly implemented to protect LV block from HV block and sustain the d v/dt, d i/dt effect with self-extracted function. The breakdown voltage is above 150V. Finally,it is shown that the performance of designed IC driver can satisfy the EL(Electrolumi- nescent Lamps)lamp application with frequency at least 400Hz of the switch signal and the power supply is about 100V.For the simplicity of the silicon technology, the cost is saved.

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期刊信息
  • 《微电子学与计算机》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国航天科技集团公司
  • 主办单位:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
  • 主编:李新龙
  • 地址:西安市雁塔区太白南路198号
  • 邮编:710065
  • 邮箱:mc771@163.com
  • 电话:029-82262687
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-7180
  • 国内统一刊号:ISSN:61-1123/TN
  • 邮发代号:52-16
  • 获奖情况:
  • 航天优秀期刊,陕西省优秀期刊一等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:17909