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A Compliant Parallel XY Micromotion Stage With Complete Kinematic Decoupling
  • ISSN号:1545-5955
  • 期刊名称:IEEE Transactions on Automation Science and Engine
  • 时间:2012.7.7
  • 页码:538-553
  • 相关项目:应用于空间晶体生长科学实验装置的并联主动减振机构及控制方法研究
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