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Development and Active Disturbance Rejection Control of a Compliant Micro-/Nanopositioning Piezostag
  • ISSN号:0278-0046
  • 期刊名称:IEEE Transactions on Industrial Electronics
  • 时间:2014.3.3
  • 页码:1475-1492
  • 相关项目:应用于空间晶体生长科学实验装置的并联主动减振机构及控制方法研究
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