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157nm激光微加工过程中激光参数对刻蚀性能的影响
  • ISSN号：1001-3806
  • 期刊名称：激光技术
  • 时间：0
  • 页码：36-38
  • 语言：中文
  • 相关项目：新兴半导体材料的157nm激光三维微加工技术研究
作者： 崔健磊|徐刚|戴玉堂|白帆|
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新兴半导体材料的157nm激光三维微加工技术研究
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期刊信息
  • 《激光技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国兵器工业总公司
  • 主办单位:西南技术物理研究所
  • 主编：侯天晋
  • 地址：成都市武侯区人民南路4段7号
  • 邮编：610041
  • 邮箱：jgjs@sina.com
  • 电话：028-68011091
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-3806
  • 国内统一刊号：ISSN：51-1125/TN
  • 邮发代号:62-74
  • 获奖情况:
  • 2008年获得中国兵器集团公司优秀科技期刊二等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,波兰哥白尼索引,荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:6642