位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
The influences of laser scanning speed on the structural and optical properties of thin GaN films se
  • ISSN号：0022-3727
  • 期刊名称：Journal of Physics D-Applied Physics
  • 时间：0
  • 页码：045414-1-045414-4
  • 语言：英文
  • 相关项目：新兴半导体材料的157nm激光三维微加工技术研究
作者： Yang, Z. Y.|Liu, Z. X.|Yang, G.|Lu, P. X.|Ling, K.|Long, H.|Lv, D. J.|Tong, X. L.|Dai, Y. T.|Li, L.|Zhang, D. S.|
同期刊论文项目
新兴半导体材料的157nm激光三维微加工技术研究
期刊论文 15 会议论文 4
同项目期刊论文
157nm激光微加工过程中激光参数对刻蚀性能的影响
光纤三维微结构的157nm激光微刻蚀
基于157nm深紫外激光的蓝宝石基片微加工
基于神经网络的157nm激光微加工
基于光纤传感的非球面面形在线检测法
透明材料的深紫外激光三维微刻蚀工艺
带温度补偿基于薄壁圆筒结构的光纤光栅压力传感器
GaN基半导体材料的157nm激光微刻蚀
光纤的激光微结构加工及对强度的影响
非接触磁耦合光纤光栅位移传感器
基于157nm激光的GaN外延片激光抛光和划片工艺研究