位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
MEMS三维微力探针传感器设计及性能测试
  • 期刊名称：纳米技术与精密工程（已收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：硅微三维微力传感器研究
同期刊论文项目
硅微三维微力传感器研究
期刊论文 9 会议论文 4
同项目期刊论文
Fabrication and Structural Design of Micro Pressure Sensors for Tire Pressure Measurement Systems (T
薄膜单点力传感器
Strip double sensing layer pressure sensor for interface pressure distribution
A three-axial micro-force sensor based on MEMS technology
基于探针形式的三维硅微力传感器.
三维微力探针传感器技术研究.
MEMS耐高温压力传感器封装工艺
基于探针形式的三维硅微力传感器