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Alignment model of moire and its application in nanometer lithography
  • ISSN号：1003-501X
  • 期刊名称：Guangdian Gongcheng/Opto-Electronic Engineering
  • 时间：0
  • 页码：27-31
  • 语言：英文
  • 相关项目：稀有金属微纳结构中倏逝波的多次激发和稳定性研究
作者： Zhang, You-Lin|Yan, Wei|Chen, Wang-Fu|Yang, Yong|Hu, Song|Tang, Xiao-Ping|Ma, Ping|Zhou, Shao-Lin|
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期刊信息
  • 《光电工程》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院光电技术研究所 中国光学学会
  • 主编：罗先刚
  • 地址：四川省成都市双流350信箱
  • 邮编：610209
  • 邮箱：oee@ioe.ac.cn
  • 电话：028-85100579
  • 国际标准刊号：ISSN：1003-501X
  • 国内统一刊号：ISSN：51-1346/O4
  • 邮发代号:62-296
  • 获奖情况:
  • 四川省第二次期刊质量考评自然科学期刊学术类质量...,四川省第二届优秀期刊评选科技类期刊三等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:14003