稀有金属微纳结构中倏逝波的多次激发和稳定性研究-东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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稀有金属微纳结构中倏逝波的多次激发和稳定性研究

项目名称：稀有金属微纳结构中倏逝波的多次激发和稳定性研究
项目类别：面上项目
批准号：60776029
申请代码：F040605
项目来源：国家自然科学基金
研究期限：2008-01-01-2010-12-31

项目负责人：李展
负责人职称：研究员
依托单位：中国科学院光电技术研究所
批准年度：2007

中文摘要：

本项目主要围绕着表面等离子体在光刻技术中的应用展开。由于光的衍射现象的存在，传统的光学光刻分辨力很难突破光学衍射极限。而表面等离子体的短波长特性可以突破衍射极限的限制，从而实现超衍射分辨力。由于基于表面等离子体的光刻技术和传统的光刻系统能很好地兼容，因此可以在传统接近接触式光刻机的基础上稍作改进即可实现纳米量级的光刻分辨力。因此，表面等离子体光刻方法由于更新换代成本低而成为下一代光刻技术的热点。本项目采用电磁场有限元分析方法和时域有限差分方法，对金属材料的色散特性进行了分析，选择符合表面等离子体多次激发和稳定性传播的材料；在此材料基础上，设计了能够实现超分辨力透镜结构，并就一定特征线宽的光刻分辨力进行了分析，给出了相对应的透镜结构；最后，通过实验验证，表明表面等离子体光刻能够达到预期的效果。在对表面等离子体特性研究的基础上，本项目提出了一种多极银膜-介质的透镜结构设计思路，能将物象间距离扩大，进一步提高了实用性。

中文主题词：纳米光刻；多次激发；倏逝波；超衍射透镜；

结论摘要：

英文主题词Nanolithography; multi-excitation; evanescent wave; superlens;

成果综合统计