位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
磁控溅射用CoCrPt系靶材制备技术研究进展
  • ISSN号：1004-0676
  • 期刊名称：《贵金属》
  • 时间：0
  • 分类：TG146.4[金属学及工艺—金属材料;一般工业技术—材料科学与工程;金属学及工艺—金属学]
  • 作者机构：[1]昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室,昆明650106
  • 相关基金：国家科技部院所技术开发专项（2010EG215060）、云南省院所技术开发专项（2009CF003）、国家基金项目（U0837601）;南省基金项（2010CD126,2010ZC55）资助.
作者： 陈松[1], 耿永红[1], 王传军[1], 闻明[1], 张俊敏[1], 毕珺[1], 李艳琼[1], 谭志龙[1], 张昆华[1], 管伟明[1]
关键词： 金属材料, 粉末冶金, COCRPT, 溅射靶材, 熔铸法, 质量控制, metal materials, powder metallurgy, CoCrPt, sputtering target, cast method, quality control
中文摘要：

目前在高密度磁记录薄膜中大量使用到CoCrPt系溅射靶材。重点介绍了CoCrPt系磁性靶材国内外发展现状，靶材制备中的主要工艺以及质量控制内容和方法，最后分析了存在的技术难点和需要解决的问题。

英文摘要：

The CoCrPt system sputtering target has been widely used in high density of layer thin-film magnetic recording storage media preparation. The research progress on CoCrPt system sputtering targets was summarized from resent relevant patents and reports. The process and preparation methods of those magnetic sputtering targets were mainly discussed and analyzed. The key points of target＇s quality control were listed and studied in detail. At last, important technology problems and main difficulties which occurred in CoCrPt system sputtering target were discussed.

同期刊论文项目
稀贵金属合金系的相结构与性能研究
期刊论文 66 会议论文 13
同项目期刊论文
双辊连续铸轧凝固过程数学模型的建立及验证
The electronic, elastic and structural properties of Pd–Zr intermetallic
Platinum Group Metals New Material
Research on Natural Aging Behavior of High Purity Ag Sheets After Severe Plastic Deformation
Mechanical and electrical properties of Pd-Ru system doped with Zr, Mo, Y
反应合成法制备Ag/SnO2复合材料中的反应路线
Pd-Ru-(Zr,Mo,Y)多元系稀贵金属合金相的研究进展
银镁镍合金的物相及性能分析
RhZr2电子结构和弹性性质的第一性原理研究
Study of the Material Transfer Characteristics and Surface Morphology Due to Arc Erosion of PtIr Con
M-Rh-O 热电材料的研究进展
Ag-Al-O 体系中纳米 Ag 形成过程研究
双辊连铸中间包流场数值模拟及优化
CuCrY、CuCrZrY合金表面镀AgC材料的研究
RhZr相结构稳定性和电子结构性质的第一性原理研究
压铸Ag-Mg-Ni合金导电环的组织及性能
Ir3Y5金属间化合物相结构稳定性的第一性原理研究
Liquid phase separation in immiscible Ag–Ni–Nb alloy and formation of crystalline/amorphous composit
银铜钒合金耐磨损性能研究
Stability, electronic and magnetic properties of Ca3Ru2O7
First-principles Investigation about the Plastic Property of Doping Ni in Ir Solid Solution System
Experiment and finite element method analysis mass erosion and transfer of Ag/La2NiO4 based Electric
Interface Structure of Ag/SnO2 Nanocomposite Fabricated by Reactive Synthesis
Cu-Al合金添加稀土元素内氧化研究
AgNi10 触头材料分离阶段的热-电-力耦合分析及实验研究
Aqueous Solution Preparation of Ruthenium Nanoparticles Using Ammonium Formate as the Reducing Agent
Research on microstructure and properties of Ag-1.33at.%Mg-0.54at.%Ni alloy after severe plastic def
Application of the Finite Element Method in the Glass Fiber Bushing Research
SCR连铸连轧工艺下冷拉处理对Cu-Ag合金的性能强化机制研究
Cu-Sn-Zr合金组织与性能研究
Ag-Al2O3粉体复合材料形成过程分子动力学模拟
ITO陶瓷靶材的制备方法及研究现状
原位反应制备Cu/FeS复合材料的研究
采用一种改进CA模型模拟双辊连铸纯铝凝固过程的晶粒生长
Ag-1．33％Mg-0．54％Ni合金深度塑性变形和内氧化后的微观结构和性能
柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池研究进展
CuAl2O3复合材料中Al2O3的长大动力学分析
Ce对Mg-Al-Zn系合金焊接接头显微组织及力学性能的影响
贵金属高温合金的研究现状及展望
第一原理计算Al2Mg中间相的电子结构
Au-Sn金属间化合物的第一性原理研究
6061铝合金双向等通道挤压金属流动规律研究
Au-Pd-M（M=Mo,Y,Zr）合金相结构稳定性的模拟计算研究
碳纤维无贵金属化学镀铜一步活化工艺
超高温结构材料的研究进展
基于Pandat软件的相图计算及其方法概述
高压下P42／mnm和Pnnm晶体结构SnO2密度泛函研究
双辊连铸薄带凝固组织模拟的微观模型
第一性原理研究铱金属的致脆机理
玻纤工业中铂基漏板的设计和优化方法的研究进展
第一性原理研究铱基高温合金增韧机理
Study of the Material Transfer Characteristics and Surface Morphology Due to Arc Erosion of PtIr Contact Materials
Pt—Ir-M（Y,Zr,Mo）系相结构形成热力学的计算研究
电接触现象数值模拟的研究现状及发展趋势
Al-Pb偏晶合金连续凝固过程模拟
期刊信息
  • 《贵金属》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:
  • 主办单位:中国有色金属学会 昆明贵金属研究所
  • 主编：钱琳
  • 地址：云南昆明市高新技术开发区科技路988号贵金属研究所
  • 邮编：650106
  • 邮箱：bjba@ipm.com.cn
  • 电话：0871-68328632 5132018
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-0676
  • 国内统一刊号：ISSN：53-1063/TG
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 中国有色金属工业优秀科技期刊二等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:3854