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Experiments and results of the silicon micromachined gyroscope
  • 期刊名称：J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS
  • 时间：0
  • 页码：1-6
  • 语言：中文
  • 相关项目：低成本高过载二维微机械陀螺
作者： 严庆文|张伟|张福学|
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低成本高过载二维微机械陀螺
期刊论文 40 会议论文 24 获奖 3 专利 25 著作 2
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