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中文摘要：
本文深入论述了低成本高过载二维微机械陀螺的机理，根据动力学方程论证了陀螺的原理结构；给出弹性支撑梁扭转刚度、振动元件角振动阻尼系数，以及陀螺质量角振动固有频率、角振动幅度与被测角速度的关系；建立了动力学模型、敏感元件（硅摆）模型和误差模型，并进行计算机仿真试验，利用ANSYS设计软件进行了模态分析和频响分析。设计制作了陀螺敏感元件（硅摆）芯片、信号检测和处理电路。性能试验说明，低成本高过载二维微机械陀螺原理结构正确，能设计制作出实用化产品。研究成果申请中、美、英、德等国发明专利9项（已授权5项），获省部级科技进步奖3项，主要创新点（1）提出利用旋转体自身的旋转作为驱动力，实现陀螺无驱动部分，这种陀螺结构简单、成本低、可靠性高，能同时敏感旋转体的自旋、偏航和俯仰角速度，具有三个一般角速度陀螺的功能。（2）在芯片上设计差动检测电容器，实现能敏感三轴向角速度的敏感结构。（3）通过减振、树脂灌封和优化结构设计，陀螺能承受20000g以上冲击。（4）该陀螺可以很方便地由相位超前或迟后确定极性，载波相位与包络相位之差相当于舵机偏航或俯仰角，可直接用于舵机控制。
结论摘要：
英文主题词silicon micromachined gyro; angular velocity sensor; angular velocity gyro
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Research on non-linearity compensation technology for the output signal of silicon micromachined gyr
Research and Design of Micro-Machined Gas-Pendulum Dual-Axis Tilt Sensors Commonmode Restraining Acc
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