通过sol-gel旋涂法在抛光石英玻璃衬底上制备了不同Li,Mg掺杂浓度的ZnO薄膜,并使用XRD、SEM、UV-VIS等测试手段分析研究了不同Li,Mg掺杂浓度对ZnO薄膜微观结构和光学性能的影响。结果表明:Li,Mg掺杂后,薄膜仍保持六角纤锌矿结构,并有利于沿(002)方向择优生长,由SEM图可知随着Li,Mg的掺入,薄膜结晶质量、薄膜致密度、表面平整度以及薄膜晶粒均匀性有着明显的改善;在光学上,Li,Mg共掺对于薄膜透过率影响不明显,透过率均大于80%,并且Li,Mg共掺后使得薄膜禁带宽度增大。