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Improved Charge-Trapping Properties of TiON/HfON Dual Charge Storage Layer by Tapered Band Structure
  • ISSN号:0003-6951
  • 期刊名称:Applied Physics Letters
  • 时间:0
  • 页码:133503-133506
  • 相关项目:小尺寸低压高速长保持力电荷陷阱型悬浮栅存储器的研究
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