位置:成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
超声技术在硅湿法腐蚀中的应用
  • ISSN号:1004-924X
  • 期刊名称:《光学精密工程》
  • 时间:0
  • 分类:TN405[电子电信—微电子学与固体电子学] TS101.32[轻工技术与工程—纺织工程;轻工技术与工程—纺织科学与工程]
  • 作者机构:[1]厦门大学机电工程系,福建厦门361005, [2]厦门理工学院机械工程系,福建厦门361005
  • 相关基金:基金项目:国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2007AA042308);国家自然科学基金资助项目(No.50675184,50875222);福建省高校新世纪优秀人才支持计划项目(2007);福建省教育厅科技计划资助项目(No.JA06060)
中文摘要:

为进一步提高单根电纺丝纳米纤维的定位沉积和形貌控制水平,基于近场静电纺丝技术,研究了单根直写纳米纤维在无图案硅基底的沉积行为;仿真分析了图案化硅基底上方的空间电场分布;采用图案化硅基底作为收集板,实验考察了微图案形状、收集运动速度等因素对单根纳米纤维定位沉积的影响规律。实验结果显示,电纺直写技术具有良好的定位精度,可将直径为100~800nm的纳米纤维精确定位于直径仅为1.6um的圆形微图案阵列上表面;收集板运动速度较小时,受电场力影响纳米纤维沉积轨迹将朝微图案偏移7um;收集板运动速度进一步减小时,纳米纤维在基底微图案附近或上表面产生聚集;长条形微图案对纳米纤维沉积过程具有良好的引导与约束作用。得到的结果表明,基于近场静电纺丝的直写技术可较好地实现单根纳米纤维在图案化硅基底的精确定位沉积。

英文摘要:

In order to improve the position deposition and morphology controlling of a single electrospun nanofiber in industrial applications,an electrospinning Direct-writing (DW) technology was studied further. Firstly, the DW technology based on the Near-Field Electrospinning (NFES) was utilized to investigate the deposition behavior of a single DW nanofiber on the flat silicon substrate. Then, the electrical field distribution above the patterned silicon substrate was simulated. Finally, patterned silicon substrate was used as a collector, and the effect of pattern structure and the motion speed of the collector on the position deposition of single DW nanofiber was analyzed. Experimental results demonstrate that the DW nanofiber with the diameter ranges from 100 nm to 800 nm can be deposited precisely on the top surface of a circle micro-pattern array with a diameter of 1.6 um. When motion speed of the collector is lower than the electrospinning speed, the deposition location of DW nanofiber would deviate from the motion track and move from the pattern in 7 um due to the electric field force. If the motion speed of the collector decreases further, more nanofiber would congregate around the micro pattern or on the top surface of pattern. The strip pattern plays an excellent guiding and restricting role on the deposition of single DW nanofiber. It is concluded that the DW technology based on NFES can provide a simple way for the precise position of single nanofibers on patterned silicon substrates.

同期刊论文项目
期刊论文 14 会议论文 27 专利 2
同项目期刊论文
期刊信息
  • 《光学精密工程》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国仪器仪表学会
  • 主编:曹健林
  • 地址:长春市东南湖大路3888号
  • 邮编:130033
  • 邮箱:gxjmgc@sina.com;gxjmgc@ciomp.ac.cn
  • 电话:0431-86176855 84613409传
  • 国际标准刊号:ISSN:1004-924X
  • 国内统一刊号:ISSN:22-1198/TH
  • 邮发代号:12-166
  • 获奖情况:
  • 三次获得“百种中国杰出学术期刊”,2006年获得中国科协择优支持基金,2007年获“吉林省新闻出版精品期刊奖”,2008年获“中国精品科技期刊”,2012年《光学精密工程》看在的3篇论文获得中国百...,第三届中国出版政府奖提名奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
  • 被引量:22699