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表面处理工艺对于N型HgCdTe材料和光导器件的影响
  • ISSN号:1001-9014
  • 期刊名称:《红外与毫米波学报》
  • 时间:0
  • 分类:TN213[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]中国科学院上海技术物理研究所上海200083, 中国科学院研究生院,北京100039, [2]中国科学院上海技术物理研究所,上海200083
  • 相关基金:国家自然科学基金(61204134,61106097);Supported by National Natural Science Foundation of China(61204134,61106097)
中文摘要:

报导了采用溴腐蚀和溴抛光两种表面处理工艺对于HgCdTe材料表面的影响,测试了材料的载流子浓度随迁移率分布曲线和迁移率变温曲线,将材料制成光导器件后测试了器件的电阻变温曲线,比较了溴腐蚀和溴抛光所得器件电阻变温曲线最大电阻值所对应的温度.上述实验均表明,采用溴腐蚀的材料,表面电子较多,电离杂质散射较为严重,所制得器件性能较差,而采用溴抛光的材料,表面电子较少,以晶格散射为主,所制得器件性能良好.

英文摘要:

Etching and polishing with bromine are two different surface treatments for HgCdTe material. To evaluate the effectiveness of the surface treatment, both the mobility dependence of carrier concentration and temperature dependence of the mobility were investigated. Then, the material treated with the two different methods was fabricated into detectors. Resistivity as a function of temperature was measured. The experiments indicated that there are more surface electrons and ionized impurity scattering in the material treated by bromine etching than that treated by polishing, wherein lattice scattering plays a major role. Thus the performance of the final detector made of material treated by polishing is much better.

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期刊信息
  • 《红外与毫米波学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院上海技术物理研究所 中国光学学会
  • 主编:褚君浩
  • 地址:上海市玉田路500号
  • 邮编:200083
  • 邮箱:jimw@mail.sitp.ac.cn
  • 电话:021-25051553
  • 国际标准刊号:ISSN:1001-9014
  • 国内统一刊号:ISSN:31-1577/TN
  • 邮发代号:4-335
  • 获奖情况:
  • 1992、1996年获全国优秀学术期刊一等奖,1999年首届国家期刊奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,美国科学引文索引(扩展库),日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),瑞典开放获取期刊指南,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:8778