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6英寸SiC单晶生长炉的研制
  • 项目名称：6英寸SiC单晶生长炉的研制
  • 项目类别：国家重大科研仪器设备研制专项
  • 批准号：61327808
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：徐现刚
  • 依托单位：山东大学
  • 批准年度：2013
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
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期刊论文
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