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优质ZnO基多元合金制备及其p型掺杂研究
  • 项目名称:优质ZnO基多元合金制备及其p型掺杂研究
  • 项目类别:重大研究计划
  • 批准号:90601003
  • 申请代码:E0209
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:2007-01-01-2007-12-31
  • 项目负责人:叶志镇
  • 负责人职称:教授
  • 依托单位:浙江大学
  • 批准年度:2006
中文摘要:

采用高频等离子N离化的MOCVD和PLD方法,制备高质量ZnO外延层及ZnMgO、ZnCdO多元合金晶体薄膜;研究并实现稳定的高浓度、高迁移率的p型ZnO、ZnMgO可控制备;研究ZnO中杂质与缺陷的行为、相互作用与控制规律;探索制备ZnMgO/ZnO多量子结构,为研制实用ZnO基发光二极管奠定基础。

结论摘要:

采用高频等离子N离化的MOCVD和PLD方法,制备高质量ZnO外延层及ZnMgO、ZnCdO多元合金晶体薄膜;研究并实现稳定的高浓度、高迁移率的p型ZnO、ZnMgO可控制备;研究ZnO中杂质与缺陷的行为、相互作用与控制规律;探索制备ZnMgO/ZnO多量子结构,为研制实用ZnO基发光二极管奠定基础。


成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 24
  • 0
  • 0
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