硅纳米晶体粒子具有独特的光学和电学特性,对硅纳米晶的研究在硅基光子学和光电子学器件的研制中具有重要意义。项目拟首先建立由电子束热蒸发生长SiOx/SiO2(其中1
Silicon nanocrystals;Optoelectronic Materials;Optical properties;Optical constants;Spectroscopy ellipsometry
硅是一种非常重要的半导体材料,硅纳米晶(nc-Si)日益引起研究者的广泛注意,为了更加深入了解硅纳米晶的光学特性以及应用环境,本项目制备不同尺寸硅纳米晶,针对其在不同温度下的光学特性进行了研究,同时讨论了造成其光学特性变化趋势的主要原因。主要研究内容及成果包括 1、采用SiOx/SiO2(1