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中文摘要：
纳米制造是支撑纳米科技走向应用的基础。随着人们对高端纳米器件需求的不断增长，传统的纳米加工技术开始面临高分辨率、低成本、高效率等挑战，亟需研究提出工艺简单的纳米加工新原理和新方法。本项目拟在前期摩擦诱导构造纳米凸结构的研究基础上，系统开展低损伤摩擦诱导纳米加工的原理和应用研究。在阐明各种实验条件、环境气氛、对磨副材料以及表面特性等对低损伤摩擦诱导纳米加工影响规律的基础之上，采用实验分析的方法深入揭示化学刻蚀和摩擦化学等因素对单晶硅等材料低损伤摩擦诱导纳米加工的作用机制，进而结合在其它材料表面加工的可行性探讨，提出低损伤摩擦诱导纳米加工的新原理和新方法。相关研究符合国家高新科技发展的重大战略需求，其成果不仅可以丰富纳米制造的基础理论，而且也有助于推动我国微/纳器件实用化的发展进程。
结论摘要：
英文主题词Nanofabrication；Microscopic friction；Friction-induced；Low destruction；Monocrystalline silicon
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