本申请项目基于电磁场理论、微分几何学理论、激光干涉纳米测量技术和现代鲁棒控制理论,提出一种面向微操作的电磁悬浮与驱动的空间微运动新方法。通过对该方法的理论研究,建立了一套在同一机构中集驱动、测量和控制于一体的能同时实现大运动范围纳米级精度和多自由度的新型微操作器驱动系统设计的理论体系。研究内容包括电磁悬浮与驱动微操作器六自由度空间运动的理论建模、系统动力学理论分析、运动体三维运动实时测量与控制、磁滞非线性分析综合及噪声干扰抑制等。通过本项目的研究,将解决微操作器的空间运动路径规划、位置姿态调整和任意空间点的稳定定位等关键技术,为微操作机器人系统能够实现水平、垂直和旋转等空间综合运动奠定理论基础和提供有效的技术方法。