中文摘要：

近几年我国半导体工业取得了飞速发展，并已经成为全球该产业关注的焦点。目前半导体生产过程的批间控制已经被公认为一种有效的过程控制方法。本项目主要研究内容和成果为 1）完成了固定周期性多产品制程的数学建模，并推广至非固定周期多产品制程； 2）提出带有机台干扰的混合产品的合成前馈/反馈批间控制方法，并以纳米级SiO2 粒子的挥发模拟半导体生产过程完成了实验研究； 3）提出了混合产品制程中基于变权值指数权值滑动平均算法的批间控制方法； 4）进行了具有最优参数的干扰补偿双EWMA算法研究，在此基础上提出了针对典型阶跃和斜坡故障的容错算法； 5）进行了带有周期性时变折扣因子的单EWMA算法研究，在此基础上提出了针对典型阶跃故障的容错算法； 6）进行了增强型周期预测EWMA算法的研究，并针对典型阶跃故障提出了容错算法。在本项目资助下共完成论文20篇，其中发表18篇，录用2篇。需要指出的是，论文中包括2篇SCI源刊长文。本项目在国内首度研究批间控制方法，在国际上提出容错的批间控制方法的设计，具有重要的理论意义和和实用价值，为未来的大规模应用奠定了理论基础。