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Influence of the strain of AlN buffeg layer on the strain evolution of GaN epilayer grown on 3-in 6H
  • 所属机构名称:中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 会议名称:"The 2011 International Conference on materials and Products Manufacturing Technology (MPMT 201
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:InAlN/GaN无应变新异质结场效应晶体管材料研究
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期刊论文 33 会议论文 10 获奖 1 专利 4
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