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DLC膜用于解决MEMS器件粘附问题
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：中国机械工程学会年会微纳制造技术分会，2004年10月12日，大连，分会报告。
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：磁头、磁盘表面润滑规律和超薄保护膜的生长机理及技术
作者： 徐军，李新，邓新绿
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磁头、磁盘表面润滑规律和超薄保护膜的生长机理及技术
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