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Si掺杂对DLC薄膜结构和性能的影
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：2004年中国材料学研讨会，2004年11月2-5日，北京，分会报告
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：磁头、磁盘表面润滑规律和超薄保护膜的生长机理及技术
作者： 丁万昱，陈小锰，徐军，朴勇，邓
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