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钛基片的化学机械抛光技术研究
  • 所属机构名称：清华大学
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：化学机械组合作用功能粒子及其超精抛光机理研究
作者： 裴慧芳|刘岩|潘国顺|戴媛静|
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化学机械组合作用功能粒子及其超精抛光机理研究
期刊论文 17 会议论文 9 获奖 2 专利 11
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