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Effect of Ingredients in Slurry Containing Alumina on Polishing of Hard Disk Substrate
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：5th China International Symposium on Tribology/1st International Tribology Symposium of IFToMM
  • 成果类型：会议
  • 会场：Beijing, PEOPLES R CHINA
  • 相关项目：化学机械组合作用功能粒子及其超精抛光机理研究
作者： Zhou Yan|Lu Xinchun|Luo Jianbin|Zhu Yonghua|Liu Yan|Pan Guoshun|Sun Jiazhen|
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化学机械组合作用功能粒子及其超精抛光机理研究
期刊论文 17 会议论文 9 获奖 2 专利 11
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