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离子交换法提高硅晶片抛光液去除速率试验研究
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：2009年第九届中国摩擦学大会
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：化学机械组合作用功能粒子及其超精抛光机理研究
作者： 顾忠华|刘岩|李拓|潘国顺|
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化学机械组合作用功能粒子及其超精抛光机理研究
期刊论文 17 会议论文 9 获奖 2 专利 11
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