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3-D simulation of geometrical variations impact on nanoscaleFinFETs
  • 所属机构名称:北京大学
  • 会议名称:Solid-State and Integrated-Circuit Technology, 2008. ICSICT 2008. 9th International Conference
  • 成果类型:会议
  • 会场:北京
  • 相关项目:纳米工艺下可制造性和成品率驱动的集成电路设计方法学研究
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