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磁过滤方法制备TiN/AlN纳米多层膜
  • 期刊名称：核仪器和方法(B)
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 页码：p382
  • 语言：英文
  • 相关项目：采用磁过滤真空弧沉积技术制备优质超硬膜的研究
作者： 张旭|易仲珍|吴先映|
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