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W离子MEEVA离子注入PET的性能
  • 期刊名称：真空
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 页码：Vol69(2003)P461
  • 语言：英文
  • 相关项目：采用磁过滤真空弧沉积技术制备优质超硬膜的研究
作者： 吴瑜光|张通和等|
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