采用磁过滤真空弧沉积技术制备优质超硬膜的研究-东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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采用磁过滤真空弧沉积技术制备优质超硬膜的研究

项目名称：采用磁过滤真空弧沉积技术制备优质超硬膜的研究
项目类别：专项基金项目
批准号：50141022
申请代码：E011002
项目来源：国家自然科学基金
研究期限：2002-01-01-2002-12-01

项目负责人：张旭
负责人职称：副研究员
依托单位：北京师范大学
批准年度：2001

中文摘要：

采用离子束技术制备优质单质超硬膜及纳米复合超硬膜，并对其组织结构、力学性能和耐磨损性能进行了研究，采用磁过滤真空弧源沉积技术制备的1.5到15纳米多层膜具有周期性良好的调制结构，与其他薄膜制备方法比较具有更好的表面粗糙度。研究了纳米多层膜的硬度和弹性模量与调制周期的关系，在一定的调制周期存在硬度和弹性模量大大增加的现象，研究了不同沉积参数对超硬度和超模量现象的影响规律，探讨了超硬度和超模量现象的形成机制。多层膜结构对薄膜的摩擦系数影响很小，但是显著影响薄膜的耐磨损性能。研究了MEVVA离子注入技术形成纳米镶嵌结构的形成，组织结构和相关性能。此项研究提供了一种新型实用的超硬薄膜和纳米多层膜的制备方法，为发展具有应用前景的超硬薄膜提供基础。

中文主题词：磁过滤 ,离子束 ,纳米超硬膜

结论摘要：

英文主题词Filtered arc ,ion beam ,Nanometer superhard films

成果综合统计