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MEVVA离子注入合成Co硅化物
  • 期刊名称：中国科学(E)
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 页码：2002 vol. 45 No.4 348-352
  • 语言：英文
  • 相关项目：采用磁过滤真空弧沉积技术制备优质超硬膜的研究
作者： 张通和|吴瑜光等|
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