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磁过滤方法沉积TiN/AlN多层膜的结构和机械性能
  • 期刊名称：中国有色金属学会会刊(英文)
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 页码：Vol14 spl2 p234
  • 语言：英文
  • 相关项目：采用磁过滤真空弧沉积技术制备优质超硬膜的研究
作者： 张旭 张荟星等|
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采用磁过滤真空弧沉积技术制备优质超硬膜的研究
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