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磁过滤方法制备ta-C薄膜的摩擦学性能
期刊名称:表面和薄膜技术
时间:0
作者或编辑:3448
页码:p120
语言:英文
相关项目:采用磁过滤真空弧沉积技术制备优质超硬膜的研究
作者:
张旭|易仲珍|吴先映|张通和|张荟星|
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