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磁过滤方法制备ta-C薄膜的摩擦学性能
  • 期刊名称:表面和薄膜技术
  • 时间:0
  • 作者或编辑:3448
  • 页码:p120
  • 语言:英文
  • 相关项目:采用磁过滤真空弧沉积技术制备优质超硬膜的研究
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