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Diffusion behavior of dual capping layers in TiN/LaN/AlN/HfSiOx/Si stack
  • ISSN号：0003-6951
  • 期刊名称：Applied Physics Letters
  • 时间：2011
  • 页码：131914-
  • 相关项目：SOI基波导谐振环中光传输特性及增益补偿机制
作者： 肖志松|
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SOI基波导谐振环中光传输特性及增益补偿机制
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