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Effects of Mold Geometries and Initial Resist Thickness on Filling Behavior in UV-Nanoimprint Lithog
  • ISSN号：1546-1955
  • 期刊名称：Journal of Computational and Theoretical Nanoscien
  • 时间：0
  • 页码：1029-1035
  • 相关项目：微复型过程中聚合物流动填充机理的可视化实验分析
作者： Jun Du|Zhengying Wei| Wei He|Yiping Tang|
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