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Reverse Nonequilibrium Molecular Dynamics Calculation of the Resist Shear Viscosity in UV-Nanoimprin
  • ISSN号：1546-1955
  • 期刊名称：Journal of Computational and Theoretical Nanoscien
  • 时间：0
  • 页码：825-829
  • 相关项目：微复型过程中聚合物流动填充机理的可视化实验分析
作者： Jun Du|Zhengying Wei|Yiping Tang|
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