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Investigation of resist filling behavior in microimprint lithography by CFD simulation and defocusin
  • ISSN号：1071-1023
  • 期刊名称：Journal of Vacuum Science and Technology B
  • 时间：0
  • 页码：-
  • 相关项目：微复型过程中聚合物流动填充机理的可视化实验分析
作者： Jun Du|Zhengying Wei|Shize Li|Yiping Tang|
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